Welke MEMS-sensor meet het debiet doordat de warmte van een verwarmingselement door de gasstroom wordt meegevoerd?

Antwoord: A. Thermische flowsensor

Een thermische flowsensor heeft op een thermisch geïsoleerd dun membraan van ongeveer 1 µm dik een verwarmingselement met stroomopwaarts en stroomafwaarts temperatuursensoren. Wanneer gas stroomt, wordt de stroomopwaartse zijde gekoeld en de stroomafwaartse zijde verwarmd, en uit dit temperatuurverschil worden debiet en stromingsrichting bepaald. Omdat het membraan dun is en een kleine warmtecapaciteit heeft, is de respons snel en het vermogen laag. Toepassingen zijn de inlaatluchthoeveelheid van motoren (luchtmassameter), gasmeters en medische apparatuur zoals beademingsapparaten.