Welk MEMS-component wordt gebruikt om laserlicht te scannen, bijvoorbeeld in LiDAR voor auto's?

Antwoord: C. MEMS-spiegel (kleine beweegbare spiegel die licht scant)

Een MEMS-spiegel is een component waarbij een kleine spiegel van ongeveer 1 mm diameter met elektrostatische of elektromagnetische kracht op enkele kHz tot enkele tientallen kHz wordt laten resoneren of gekanteld, om de richting van gereflecteerd laserlicht te veranderen. Vergeleken met een door een motor aangedreven polygoonspiegel is hij klein en licht en heeft hij geen mechanisch roterende delen, dus is hij bestand tegen trillingen. Hij wordt gebruikt voor LiDAR-scanning, laserprojectie in head-up displays en AR-brillen, en optische schakelaars.