Welk probleem treedt op wanneer een dunne film zoals polysilicium die voor de structuurlaag bij oppervlaktemicrobewerking wordt gebruikt grote restspanning bevat?

Antwoord: B. Wanneer de opofferingslaag is verwijderd en de structuur loskomt, buigt of knikt de structuur

Bij grote restspanning die tijdens de laagafzetting ontstaat, knikt een aan beide zijden ingeklemde balk onder drukspanning en golft deze, en bij een spanningsgradiënt in de dikterichting buigt een eenzijdig ingeklemde balk, nadat de opofferingslaag is verwijderd en de structuur loskomt. De structuur krijgt dan niet de ontworpen vorm of resonantiefrequentie en kan zelfs een elektrode raken en niet meer bewegen. Bij polysilicium wordt de spanning met afzettingstemperatuur en gloeien beperkt tot enkele tientallen MPa of minder, en bij nitridefilms wordt via de samenstelling een trekspanning ingesteld.