MEMS en sensoren
Welk verschijnsel gebruikt een BAW-filter, dat wordt toegepast als hoogfrequentfilter in onder meer smartphones?
- AHall-effect
- BMechanische resonantie van een piëzo-elektrische dunne film
- CSeebeck-effect
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Mechanische resonantie van een piëzo-elektrische dunne film
Een BAW-filter (Bulk Acoustic Wave) gebruikt een resonator waarin een piëzo-elektrische dunne film van ongeveer 1 µm dik, zoals aluminiumnitride (ook ScAlN), tussen elektroden is geplaatst. De film trilt in de dikterichting en resoneert op een bepaalde frequentie die door de laagdikte wordt bepaald; hiermee wordt alleen het signaal in de gewenste frequentieband doorgelaten. Omdat de verliezen bij hoge frequenties van ongeveer 1,5 tot 6 GHz laag zijn, worden in 5G-smartphones met veel frequentiebanden tientallen exemplaren gebruikt.