MEMS en sensoren
Wat is het detectieprincipe van een capacitieve MEMS-versnellingssensor?
- AVerandering van de weerstand door temperatuurverandering
- BVerandering van de capaciteit tussen elektroden door de verplaatsing van het bewegende deel (de massa)
- CVerandering van het interferentiepatroon van licht
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Verandering van de capaciteit tussen elektroden door de verplaatsing van het bewegende deel (de massa)
Wanneer een versnelling optreedt, beweegt de aan veren opgehangen massa door traagheid en verandert de afstand tot de kamvormige vaste elektroden. De verandering van de capaciteit wordt met een schakeling gedetecteerd om de versnelling te bepalen. De verplaatsing is hooguit enkele nm en de capacitieve verandering hooguit enkele fF (10⁻¹⁵ F), maar deze wordt met een differentiële elektrodeopbouw en een gevoelige schakeling uitgelezen. Vanwege de eenvoudige opbouw, het lage vermogen en de geringe temperatuurgevoeligheid wordt dit type veel in smartphones toegepast.