Welke uitspraak over het aandrijfprincipe van de kamvormige actuator (comb drive) die als MEMS-actuator wordt gebruikt, is juist?

Antwoord: A. Elektrostatische aantrekking wanneer een spanning wordt aangelegd tussen in elkaar grijpende kamvormige elektroden

Een kamvormige actuator legt een spanning aan tussen in elkaar grijpende kamvormige vaste en beweegbare elektroden en verplaatst het bewegende deel zijdelings door elektrostatische aantrekking. Omdat de beweging in de richting is waarin de overlap verandert, is de kracht nagenoeg constant ten opzichte van de verplaatsing en treedt, anders dan bij parallelle platen, nauwelijks pull-in op. Met meer kamtanden kan de kracht groter worden gemaakt; toepassingen zijn de aandrijving van gyroscopen, optische schakelaars en MEMS-spiegels. Kamstructuren worden ook als detectie-elektrode gebruikt.