MEMS en sensoren
Hoe heet de demping die ontstaat doordat het gas tussen een beweegbare plaat en een zeer nabij vast oppervlak wordt weggedrukt wanneer de plaat daarheen beweegt?
- ADiëlektrische relaxatie
- BSqueeze-film damping
- CCoulombwrijving
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. Squeeze-film damping
Wanneer de spleet tussen beweegbare plaat en vast oppervlak met enkele µm smal is, wordt het gas in de spleet bij elke beweging van de plaat weggedrukt of aangezogen en ontstaat een grote viskeuze weerstand. Dit is squeeze-film damping, die sterker wordt naarmate de spleet kleiner is (omgekeerd evenredig met de derde macht van de spleet). Bij versnellingssensoren wordt het gebruikt om trillingen te onderdrukken en de respons te regelen, terwijl het bij gyroscopen en resonatoren de Q-factor verlaagt; daarom wordt het bijgesteld door veel gaten in de plaat te maken of door vacuümafdichting.