MEMS en sensoren

Hoe heet de demping die ontstaat doordat het gas tussen een beweegbare plaat en een zeer nabij vast oppervlak wordt weggedrukt wanneer de plaat daarheen beweegt?

  1. ADiëlektrische relaxatie
  2. BSqueeze-film damping
  3. CCoulombwrijving
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Squeeze-film damping

Wanneer de spleet tussen beweegbare plaat en vast oppervlak met enkele µm smal is, wordt het gas in de spleet bij elke beweging van de plaat weggedrukt of aangezogen en ontstaat een grote viskeuze weerstand. Dit is squeeze-film damping, die sterker wordt naarmate de spleet kleiner is (omgekeerd evenredig met de derde macht van de spleet). Bij versnellingssensoren wordt het gebruikt om trillingen te onderdrukken en de respons te regelen, terwijl het bij gyroscopen en resonatoren de Q-factor verlaagt; daarom wordt het bijgesteld door veel gaten in de plaat te maken of door vacuümafdichting.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over MEMS en sensoren

  1. Welke ruis, die een van de resolutiegrenzen vormt bij zeer kleine MEMS-versnellingssensoren en -gyroscopen, ontstaat doordat de massa door thermische wisselwerking met omringende gasmoleculen willekeurig beweegt?
  2. Welke uitspraak beschrijft juist de methode om zeer kleine massa's te detecteren door gebruik te maken van het feit dat de resonantiefrequentie verandert wanneer stof zich op het oppervlak van een kleine vrijdragende balk of een kwartskristal hecht?
  3. Welke uitspraak over MEMS is juist?
  4. Wat is het detectieprincipe van een capacitieve MEMS-versnellingssensor?
  5. Wat is het doel van opofferingslaagetsen (sacrificial layer etching) bij de productie van MEMS?

Vergelijkingen bij dit onderwerp