MEMS en sensoren

Welke methode wordt veel gebruikt om de bias-stabiliteit (langzame variatie van de uitgang) van een MEMS-gyroscoop te beoordelen?

  1. AAnalyse van de Allan-variantie (Allan-deviatie)
  2. BC-V-meting
  3. CVierpuntsmethode
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: A. Analyse van de Allan-variantie (Allan-deviatie)

De Allan-variantie is een methode waarbij de uitgang die enkele uren in rust is opgenomen in segmenten van verschillende gemiddelingstijden τ wordt verdeeld en de spreiding van het verschil tussen de gemiddelden van aangrenzende segmenten wordt onderzocht. Uit de helling in een dubbellogaritmische grafiek kunnen componenten worden onderscheiden, zoals de bij korte tijden dominante willekeurige ruis (angle random walk, helling −1/2) en de bias-instabiliteit (°/h) die in het minimum verschijnt. Het is de standaardmethode om de prestaties van gyroscopen, versnellingssensoren en oscillatoren te vergelijken.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over MEMS en sensoren

  1. Hoe heet de demping die ontstaat doordat het gas tussen een beweegbare plaat en een zeer nabij vast oppervlak wordt weggedrukt wanneer de plaat daarheen beweegt?
  2. Welke ruis, die een van de resolutiegrenzen vormt bij zeer kleine MEMS-versnellingssensoren en -gyroscopen, ontstaat doordat de massa door thermische wisselwerking met omringende gasmoleculen willekeurig beweegt?
  3. Welke uitspraak beschrijft juist de methode om zeer kleine massa's te detecteren door gebruik te maken van het feit dat de resonantiefrequentie verandert wanneer stof zich op het oppervlak van een kleine vrijdragende balk of een kwartskristal hecht?
  4. Welke uitspraak over MEMS is juist?
  5. Wat is het detectieprincipe van een capacitieve MEMS-versnellingssensor?