MEMS und Sensoren
Lernen Sie anhand von Multiple-Choice-Fragen die Merkmale von MEMS, kapazitive Beschleunigungssensoren, das Ätzen von Opferschichten, den piezoresistiven Effekt und Hall-Sensoren kennen.
Die Fragen zu diesem Thema folgen in Kürze.
MEMS und Sensoren: Das Wichtigste
MEMS (mikroelektromechanische Systeme) sind Bauelemente, die mithilfe der Mikrofertigung von Halbleitern winzige mechanische Strukturen zusammen mit elektronischen Schaltungen aufbauen. Sie werden in Smartphones weithin als Beschleunigungssensoren, Gyroskope, Mikrofone und Drucksensoren verwendet.
Verstehen Sie das Ätzen von Opferschichten, das bewegliche Strukturen freilegt, sowie die Prinzipien, die Verschiebung, mechanische Spannung oder Magnetfelder in elektrische Signale umsetzen (Kapazität, piezoresistiver Effekt und Hall-Effekt).