MEMS en sensoren
Wat is de gangbare methode waarmee een MEMS-microfoon geluid in een elektrisch signaal omzet?
- ADe temperatuurverandering van een weerstand die door geluid opwarmt detecteren
- BDe hoeveelheid licht van een door geluid lichtgevend element detecteren
- CDe verandering van de capaciteit tussen een door geluidsdruk trillend membraan en een vaste elektrode detecteren
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. De verandering van de capaciteit tussen een door geluidsdruk trillend membraan en een vaste elektrode detecteren
Een gangbare MEMS-microfoon vormt een condensator met een dun membraan (diafragma) van ongeveer 1 µm dik dat door geluidsdruk trilt en een geperforeerde vaste elektrode (backplate); de capaciteitsverandering door de trilling van het membraan wordt door een ASIC in dezelfde behuizing in een elektrisch signaal omgezet. Ze zijn kleiner dan conventionele elektreetcondensatormicrofoons, bestand tegen de warmte van solderen en hebben gelijkmatige eigenschappen; in smartphones worden meerdere exemplaren gebruikt, onder meer voor ruisonderdrukking.