MEMS en sensoren
Wat is het detectieprincipe van een halfgeleider-gassensor op basis van bijvoorbeeld tinoxide?
- AHet gas zendt licht uit door zijn temperatuur
- BHet geluid verandert door het gas
- CHet te detecteren gas adsorbeert en reageert aan het oppervlak, waardoor de elektrische weerstand van het sensormateriaal verandert
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: C. Het te detecteren gas adsorbeert en reageert aan het oppervlak, waardoor de elektrische weerstand van het sensormateriaal verandert
Bij een halfgeleider-gassensor adsorbeert zuurstof op het oppervlak van tinoxide (n-type halfgeleider) dat tot ongeveer 300 tot 400 °C is verhit en vangt elektronen in; aan de korrelgrenzen ontstaat een barrière en de weerstand is hoog. Bij brandbare of reducerende gassen reageren deze met de geadsorbeerde zuurstof, keren de elektronen terug en daalt de weerstand. Deze sensoren werden in de jaren zestig in Japan praktisch toepasbaar en worden veel gebruikt in gaslekalarmen. Ze zijn goedkoop en gevoelig, maar kunnen gassoorten slecht onderscheiden.