Hoe heet het verschijnsel waarbij bij een elektrostatische actuator met parallelle platen de beweegbare elektrode, als de spanning wordt verhoogd en een bepaalde positie wordt overschreden, plotseling naar de vaste elektrode wordt getrokken en blijft plakken?

Antwoord: C. Pull-in

De elektrostatische aantrekkingskracht tussen de elektroden neemt sterk toe naarmate de afstand kleiner wordt, terwijl de terugstelkracht van de veer slechts evenredig is met de verplaatsing, zodat het evenwicht vanaf een bepaald punt niet meer kan worden behouden. Bij parallelle platen ligt dit punt bij een verplaatsing van ongeveer 1/3 van de beginafstand; daarboven wordt de beweegbare elektrode in één keer aangetrokken (pull-in). Het continu bruikbare bereik is daarom beperkt tot 1/3 van de afstand. Bij RF MEMS-schakelaars wordt dit verschijnsel juist gebruikt om het contact betrouwbaar te sluiten.