Welke MEMS-bewerkingsmethode maakt bewegende structuren door op een substraat gestapelde dunne films te bewerken?

Antwoord: B. Oppervlaktemicrobewerking

Bij oppervlaktemicrobewerking worden dunne films van een opofferingslaag (zoals SiO2) en een structuurlaag (zoals polysilicium) op een substraat gestapeld en bewerkt, waarna de opofferingslaag wordt verwijderd zodat de structuur loskomt; zo kunnen structuren van enkele µm dik met processen die dicht bij die van LSI's liggen worden gemaakt. De methode waarbij het substraat zelf vanaf de achterzijde diep wordt uitgeëtst om membranen en gaten te maken, is bulkmicrobewerking; hierbij worden anisotroop etsen met KOH en Deep RIE gebruikt, bijvoorbeeld voor de membranen van druksensoren.