Hoe heet het verschijnsel waarbij een klein bewegend deel van MEMS tijdens de productie of het gebruik door onder meer oppervlaktespanning aan het substraat blijft plakken en niet meer beweegt?

Antwoord: B. Stiction

Bewegende delen van MEMS zijn zeer klein en hebben ten opzichte van hun gewicht een groot oppervlak, zodat ze door oppervlaktespanning bij het opdrogen van spoelvloeistof, elektrostatische kracht, intermoleculaire krachten of aanhechting door vocht aan het substraat kunnen blijven plakken. Dit is stiction; het kan bij het drogen tijdens de productie optreden of door contact tijdens het gebruik. Het wordt voorkomen door superkritisch drogen, damp-fase-etsen, het aanbrengen van een waterafstotende monolaag en kleine uitsteeksels op het contactoppervlak.