MEMS en sensoren
Welke methode verhoogt de resonantiefrequentie van een MEMS-structuur die uit een veer en een massa bestaat?
- ADe veer zachter en de massa zwaarder maken
- BDe veer stijver of de massa lichter maken
- CDe kleur van de structuur veranderen
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: B. De veer stijver of de massa lichter maken
De resonantiefrequentie van een structuur met veerconstante k en massa m is f = (1/2π)√(k/m); deze wordt hoger als de veer stijver of de massa lichter wordt. Bij een versnellingssensor is de verplaatsing van de massa evenredig met versnelling ÷ (2πf)², dus een hogere resonantiefrequentie verlaagt de gevoeligheid. Daar staat tegenover dat de bruikbare bandbreedte en schokbestendigheid toenemen, zodat de resonantiefrequentie (enkele kHz) wordt gekozen als balans tussen gevoeligheid en bandbreedte.