矽的磊晶成長中，用作原料的氣體為下列何者？

正確答案：B. 三氯矽烷（SiHCl3）或二氯矽烷（SiH2Cl2）

矽的磊晶成長會將三氯矽烷、二氯矽烷、矽烷等含矽氣體與氫氣一起使用。它們在高溫下分解、還原，使矽析出於基板上，例如發生 SiHCl3 + H2 → Si + 3HCl 的反應。含氯越多的原料所需溫度越高，但由於HCl能抑制在氧化膜上析出，因此適合選擇性成長。摻雜時則加入磷化氫或乙硼烷。