作為CVD等製程原料使用的矽烷（SiH4），在操作上的主要危險性為下列何者？

正確答案：A. 具有自燃性，洩漏到空氣中時有起火之虞

矽烷是接觸空氣就會自行起火的自燃性氣體，在高濃度洩漏時，也可能不立即燃燒而是先累積，之後爆炸性地燃燒。因此要收納於已排氣的鋼瓶櫃中，並以具備洩漏偵測器與緊急遮斷閥的管線供應。它不會放出輻射，也不是不需特別管理的安全氣體。廣泛用作多晶矽、SiO2、SiN的CVD原料。