什麼是TEOS
四乙氧基矽烷的簡稱。是廣泛用作矽氧化膜CVD原料的液態有機矽化合物。可得到階梯覆蓋率良好的氧化膜。
日文名稱: TEOS
「TEOS」出現在2領域的3道練習題中（薄膜沉積（CVD與PVD）, 製程材料（氣體與藥液）等）。
這個名詞所屬的領域: 薄膜沉積（CVD與PVD）
練習TEOS的題目
將常溫下為液體的原料（TEOS等）以氣體形式供應給CVD設備的方法，下列何者正確？
- A讓載氣通過液體以帶出蒸氣（起泡），或以氣化器將液體氣化後供應
- B將液體固化並磨成粉末後放入
- C將液體直接倒入反應爐
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正確答案：A. 讓載氣通過液體以帶出蒸氣（起泡），或以氣化器將液體氣化後供應
液體原料是以氣體形式送入反應爐，方法有二：一是將載氣吹入溫度受控的容器以帶出蒸氣的起泡，二是量測液體流量後以氣化器一次氣化。起泡容易因液溫變化而使供應量波動，氣化器方式則可更精密地控制。TEOS是沸點約168 ℃的液體，管線也要加熱，以免再度變回液體。若以液體狀態直接倒入，無法進行均勻的成膜。
解析中的「TEOS」
TEOS是沸點約168 ℃的液體，管線也要加熱，以免再度變回液體。
將常溫下為液體的原料（TEOS等）以氣體形式供應給CVD設備的方法，下列何者正確？階梯覆蓋率也佳，用於多晶矽、氮化矽膜、TEOS氧化膜等的成膜。
關於低壓CVD（LPCVD）的特徵，下列何者正確？TEOS（Si(OC2H5)4）是常溫下為液體的有機矽化合物，汽化後作為CVD的原料。
矽氧化膜的CVD中廣泛用作原料的液態有機矽化合物為下列何者？
出現「TEOS」的題目（3題）
相關名詞
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