製程材料(氣體與藥液)
作為半導體用多晶矽原料所要求的純度,下列何者最為適當?
- A約99%
- B約99.99%
- C約99.999999999%(11N)
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正確答案:C. 約99.999999999%(11N)
半導體用的多晶矽要求9連續排列11個的11個9(11N)等級純度,雜質總量僅約0.01 ppb左右。這是因為即使是極微量的金屬雜質,也會縮短載子的壽命並增加漏電流。原料是以西門子法製成,即用氫還原三氯矽烷使其析出。太陽能電池用的約6N~9N即可,而99%或99.99%對半導體而言遠遠不足。