製程材料（氣體與藥液）
在SiGe的磊晶成長中，作為鍺原料所使用的氣體為下列何者？
- A氨（NH3）
- B鍺烷（GeH4）
- C砷化氫（AsH3）
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正確答案：B. 鍺烷（GeH4）
在SiGe的成長中，會與矽的原料（矽烷或二氯矽烷等）一起通入鍺烷（GeH4）作為鍺的原料，並以流量比來控制Ge的組成。在pMOS的源極與汲極，會同時通入乙硼烷，成長出含高濃度硼的SiGe，對通道施加壓縮應變。氨是氮的原料，砷化氫是砷的原料。
- A. 氨是氮的原料，用於氮化膜等。
- B. 正確。鍺烷是鍺的原料。
- C. 砷化氫是砷的原料，用於n型摻雜物等。