在矽的磊晶成長中，與原料氣體一起大量通入的氫氣（H2），其主要作用為下列何者？

正確答案：C. 作為輸送原料氣體的載氣，並營造使表面保持潔淨的還原性環境

在矽的磊晶成長中，三氯矽烷等原料氣體會被大量氫氣稀釋後送入反應爐。氫氣一方面作為輸送原料的載氣，同時也作為還原劑參與反應，以還原性環境防止表面氧化，並將反應產生的氯以氯化氫的形式帶走。氫氣也會終結表面矽原子的懸鍵，發揮保持潔淨狀態的作用。

• A. 矽的原料是矽烷或氯矽烷類。
• B. n型摻雜物使用的是磷化氫等。
• C. 正確。用作載氣。