什麼是階梯覆蓋率
表示薄膜在階梯與孔洞的側壁和底部，相較於平坦部分能以多均勻的厚度成膜的指標。ALD表現非常好。
日文名稱: ステップカバレッジ
這個名詞所屬的領域: 薄膜沉積（CVD與PVD）
相關名詞
反應式濺鍍 真空蒸鍍 區域選擇性沉積 旋轉塗佈 電鍍 磁控濺鍍 靜電吸盤 濺鍍 ALD(原子層沉積) CVD(化學氣相沉積)
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