シラン(SiH4)란?
しらん
シリコンと水素の化合物のガス。ポリシリコンやシリコン酸化膜・窒化膜のCVDの原料に使われる。空気中で自然発火するため、厳重に管理される。
일본어 명칭: シラン(SiH4)
분야: 공정 재료(가스와 케미칼)
관련 용어
超純水 特殊材料ガス NF3(三フッ化窒素) TMAH アルシン(AsH3) プリカーサ(前駆体) ホスフィン(PH3) マスフローコントローラ(MFC)
しらん
シリコンと水素の化合物のガス。ポリシリコンやシリコン酸化膜・窒化膜のCVDの原料に使われる。空気中で自然発火するため、厳重に管理される。
일본어 명칭: シラン(SiH4)
분야: 공정 재료(가스와 케미칼)
超純水 特殊材料ガス NF3(三フッ化窒素) TMAH アルシン(AsH3) プリカーサ(前駆体) ホスフィン(PH3) マスフローコントローラ(MFC)