什麼是磷化氫(PH3)
磷與氫的化合物氣體。用作對矽導入n型雜質(磷)的原料。毒性非常強。
日文名稱: ホスフィン(PH3)
「磷化氫(PH3)」出現在1領域的1道練習題中（氧化與擴散等）。
這個名詞所屬的領域: 製程材料（氣體與藥液）
練習磷化氫(PH3)的題目
在熱擴散中將磷導入矽時，一直被用作液態擴散源的化合物是哪一個？
- A砷化氫（AsH3）
- B三氯氧磷（POCl3）
- C乙硼烷（B2H6）
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正確答案：B. 三氯氧磷（POCl3）
三氯氧磷（POCl3）在室溫下為液體，以氮氣起泡使其氣化，與氧一起通入爐中，便會在矽表面形成含磷的玻璃層（PSG），磷再由此擴散。由於可一次處理數百片且成本低，至今仍廣泛用於結晶矽太陽能電池 n 型射極層的形成等。硼使用 BBr3，氣體則使用磷化氫或乙硼烷。
解析中的「磷化氫(PH3)」
硼使用 BBr3，氣體則使用磷化氫或乙硼烷。
在熱擴散中將磷導入矽時，一直被用作液態擴散源的化合物是哪一個？
出現「磷化氫(PH3)」的題目（1題）
相關名詞
熱擴散 矽烷(SiH4) 前驅物 特殊材料氣體 砷化氫(AsH3) 超純水 質量流量控制器(MFC) NF3(三氟化氮) TMAH(氫氧化四甲基銨)