乾式蝕刻之後，去除殘留在圖案側壁等處的反應生成物（聚合物）之理由，下列何者正確？

正確答案：A. 為了防止後續製程的不良及電氣特性的劣化

若蝕刻時附著在側壁的保護膜等聚合物殘留，會使後續沉積的附著性變差、接觸電阻上升，含氯的殘渣也會腐蝕鋁配線。因此會藉由灰化，以及有機系、氟系藥液的清洗仔細去除。不過在先進製程的配線中，為了避免藥液損傷Low-k膜或細小的金屬，去除的強度與對材料的損傷之間的平衡很重要。