ドライエッチング란?

どらいえっちんぐ

薬液を使わず、プラズマやガスで膜を削る方法。イオンの衝撃を組み合わせることで異方性の加工ができ、微細なパターンの形成に欠かせない。

일본어 명칭: ドライエッチング

분야: 식각