關於乾式蝕刻取得非等向性的機制之一，下列何者正確？

正確答案：A. 沉積在側壁的保護膜防止橫向蝕刻，而在底面則因離子轟擊使保護膜被去除而蝕刻得以進行

在乾式蝕刻中，源自氟碳化物等氣體或反應生成物的聚合物會附著在側壁，防止橫向蝕刻。另一方面，底面有離子垂直撞擊，保護膜被去除，蝕刻因而進行。保護膜過多會使孔變成上寬下窄（錐狀），過少則會向橫向擴張（彎弓），因此需以氣體組成與溫度取得平衡，做出垂直的形狀。