浸入藥液使薄膜溶解而去除的方法。選擇比高且損傷小，但一般為等向性進行，不適合微細加工。
日文名稱: ウェットエッチング
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
天線效應 灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩 等向性蝕刻
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