在乾式蝕刻中，溝槽底部靠近側壁處比中央挖得更深，形成細溝的形狀異常稱為什麼？

正確答案：A. 微溝槽（microtrenching）

微溝槽是指溝槽或孔底部靠近側壁處被局部挖得較深的現象。其原因被認為是在傾斜側壁上反射的離子集中到底部的角落，或是側壁帶電使離子偏折。在閘極或STI的蝕刻中，可能從底部的角落貫穿底層，或造成後續填入及電場集中的問題，因此需調整壓力、偏壓與氣體條件加以抑制。

• A. 正確。是底部的角落被局部挖得較深的現象。
• B. 彎弓是側壁中段如木桶般向橫向膨脹的形狀。
• C. 遮罩後退是遮罩被蝕除而使尺寸改變的現象。