什麼是ICP(感應耦合電漿)

對線圈通入高頻電流以產生高密度電漿的方式。容易分別控制電漿密度與入射晶圓之離子的能量。

日文名稱: ICP(誘導結合プラズマ)

「ICP(感應耦合電漿)」出現在1領域的1道練習題中（矽晶圓等）。

這個名詞所屬的領域: 蝕刻

練習ICP(感應耦合電漿)的題目

為了高靈敏度地分析晶圓表面的金屬汙染，以氫氟酸蒸氣溶解表面的氧化膜，並以液滴回收後送入分析設備的前處理方法是哪一種？

  1. A四探針法
  2. BSEM觀察
  3. CVPD(氣相分解)法
查看答案與解析

正確答案：C. VPD(氣相分解)法

在VPD法中，以氫氟酸蒸氣分解晶圓表面的自然氧化膜，再以少量液滴在其上掃描，收集並回收表面的金屬雜質。將回收的液體以ICP-MS或全反射螢光X光(TXRF)分析，就能以10⁸〜10⁹ atoms/cm²左右的靈敏度量測整片晶圓的金屬汙染。這是監控設備與藥液汙染、評估清洗製程不可或缺的方法。

解析中的「ICP(感應耦合電漿)」

出現「ICP(感應耦合電漿)」的題目（1題）

  1. 為了高靈敏度地分析晶圓表面的金屬汙染，以氫氟酸蒸氣溶解表面的氧化膜，並以液滴回收後送入分析設備的前處理方法是哪一種？

相關名詞

TXRF(全反射X射線螢光分析) 天線效應 灰化 自由基 自偏壓 非等向性蝕刻 乾式蝕刻 深寬比 終點偵測 硬遮罩

前往名詞解釋列表