以乾式蝕刻直接加工Cu配線之所以困難，其原因下列何者正確？

正確答案：C. 因為Cu的鹵化物不易揮發，無法去除反應生成物

鋁會與氯反應成為揮發性的氯化鋁，因此可以乾式蝕刻，但銅的氯化物等必須加熱到數百℃以上才會揮發，會殘留在表面。因此Cu配線不使用蝕刻，而是以金屬鑲嵌（damascene）法製作：在絕緣膜上挖出溝槽、填入銅，再以CMP磨除多餘部分。近年來，針對微細配線，也在研究可用蝕刻加工的金屬，例如釕。