蝕刻所形成的孔或溝槽的縱橫比（aspect ratio）是什麼？

正確答案：A. 深度與寬度（開口直徑）之比

縱橫比是孔或溝槽的深度除以寬度所得的值。例如直徑100 nm、深度1 µm的孔，其縱橫比為10。3D NAND的記憶體孔直徑約100 nm、深度可達數µm，縱橫比甚至高達50～100。在這類深而窄的結構中，離子與自由基難以抵達底部，孔的形狀也容易失真，因此成為蝕刻技術的一大課題。蝕刻速率之比則是選擇比。