什麼是ARDE(深寬比相依蝕刻)
圖案越細越深，離子與自由基越難到達底部，使蝕刻速率下降的現象。也稱為微負載效應。
日文名稱: ARDE(アスペクト比依存エッチング)
「ARDE(深寬比相依蝕刻)」出現在1領域的1道練習題中（蝕刻等）。
這個名詞所屬的領域: 蝕刻
練習ARDE(深寬比相依蝕刻)的題目
圖案越細越深，蝕刻速率就越降低的現象稱為什麼？
- A自動摻雜
- B縱橫比相依蝕刻（ARDE，微負載效應）
- C碟形凹陷
解析中的「ARDE(深寬比相依蝕刻)」
這種現象就是ARDE（微負載效應），即使在同一片晶圓上，細孔較淺、粗孔較深，成為各尺寸深度不一致的原因。
圖案越細越深，蝕刻速率就越降低的現象稱為什麼？