在清洗、乾燥高深寬比的圖案時，造成圖案倒塌的主要原因為下列何者？

正確答案：B. 殘留在圖案之間的液體乾燥時的表面張力

在細而高的圖案之間殘留液體就進行乾燥時，液面表面張力所造成的拉普拉斯壓力會把圖案互相拉近，使其倒塌或黏在一起。間距愈窄、深寬比愈高，這個力就愈大。對策包括置換為表面張力小的IPA、表面的撥水處理（使接觸角接近90°），以及不會形成液氣界面的超臨界CO2乾燥等。