下列何者是高縱橫比蝕刻中常見的形狀異常之例？

正確答案：A. 孔的中段變粗的彎弓（bowing），以及孔彎曲的扭曲（twisting）

在深孔蝕刻中，容易出現形狀異常，例如：在遮罩邊緣散射的離子撞擊側壁，使孔的中段變粗的彎弓；孔底帶電使離子偏折，造成孔彎曲或扭轉的扭曲；以及孔變成錐狀而底部未打開等。在3D NAND的記憶體孔中，如何使貫穿數百層的孔其上下直徑一致、筆直地挖掘是一大課題，目前已導入極低溫蝕刻等技術。