蝕刻 圖案越細越深，蝕刻速率就越降低的現象稱為什麼？ A自動摻雜 B縱橫比相依蝕刻（ARDE，微負載效應） C碟形凹陷 查看答案與解析 正確答案：B. 縱橫比相依蝕刻（ARDE，微負載效應） 在細而深的孔底部，自由基會因撞擊側壁而損失、離子會因帶電而被偏折，使其難以抵達，反應生成物也不易排出，因此縱橫比越大，蝕刻速率越慢。這種現象就是ARDE（微負載效應），即使在同一片晶圓上，細孔較淺、粗孔較深，成為各尺寸深度不一致的原因。可藉由蝕刻停止層或製程條件的調整來彌補。