DRAM

為了確保DRAM單元的電容容量,一直以來使用的立體結構組合,下列何者正確?

  1. A鰭式與平面式
  2. B溝槽式與堆疊式
  3. C浮動閘極式與電荷捕捉式
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正確答案:B. 溝槽式與堆疊式

為了在單元縮小後仍確保約10 fF左右的電容,DRAM一直將電容立體化。有在基板上挖深溝的溝槽式(trench),以及在電晶體上方堆疊高聳圓柱的堆疊式(stack),目前以堆疊式為主流。先進產品的電容直徑為數十nm,高度卻超過1 µm,深寬比高達數十,並以支撐膜加固以免倒塌。浮動閘極與電荷捕捉是快閃記憶體的結構。

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