アスペクト比란?
あすぺくとひ
穴や溝の深さと幅(開口径)の比。高いほど加工や成膜の難しさが増す。3D NANDのメモリホールでは数十以上に達する。
일본어 명칭: アスペクト比
분야: 식각
관련 용어
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アッシング アンテナ効果
あすぺくとひ
穴や溝の深さと幅(開口径)の比。高いほど加工や成膜の難しさが増す。3D NANDのメモリホールでは数十以上に達する。
일본어 명칭: アスペクト比
분야: 식각
等方性エッチング 選択比 異方性エッチング 終点検出 ALE(原子層エッチング) ARDE(アスペクト比依存エッチング) ICP(誘導結合プラズマ) RIE(反応性イオンエッチング) アッシング アンテナ効果