在高縱橫比圖案的電漿蝕刻中，電子被側壁阻擋，使負電荷累積在圖案上部，正離子在底部被偏折，進而造成形狀異常或損傷的現象是下列何者？

正確答案：A. 電子遮蔽效應

電子飛行的方向雜亂無章，不易進入狹窄圖案的深處，使負電荷累積在圖案上部的側壁。另一方面，離子被電場垂直加速而到達底部，使底部帶正電。這種電荷的偏差會讓後來的離子減速、偏折，成為底部蝕刻延遲、缺口效應、扭曲及閘極絕緣膜損傷的原因。可藉由脈衝電漿送入負離子或電子進行中和等方法加以因應。

• A. 正確。是電子被阻擋而產生帶電偏差的現象。
• B. 穿隧效應是粒子穿過能障的量子力學現象。
• C. 壓電效應是壓電體的力與電荷的關係。