薄膜沉積（CVD與PVD） 關於以電子束加熱材料的真空蒸鍍之優點，下列何者正確？ A連高熔點材料也能蒸發 B階梯覆蓋率非常高 C利用原料氣體的化學反應形成薄膜 查看答案與解析 正確答案：A. 連高熔點材料也能蒸發 電子束蒸鍍是將以數kV加速的電子束集中照射材料來加熱，因此連電阻加熱難以熔化的鎢、鉬、氧化物等也能蒸發，且來自坩堝的污染也較少。蒸發出的原子直線飛行，階梯覆蓋率低，利用這項性質，可先在光阻上成膜，再連同光阻一起去除不需要的部分，以掀離法製作電極。