什麼是真空蒸鍍

在真空中加熱材料使其蒸發，附著於基板上形成薄膜的方法。若以電子束加熱，也能處理高熔點材料，但階梯覆蓋率較低。

日文名稱: 真空蒸着

這個名詞所屬的領域: 薄膜沉積（CVD與PVD）