ステップカバレッジとは
すてっぷかばれっじ
段差や穴の側面・底面に、平らな部分と比べてどれだけ均一な厚さで膜がつくかを表す指標。ALDは非常によい。
この用語の分野: 成膜(CVD・PVD)
解説の中の「ステップカバレッジ」
ステップカバレッジは、溝や穴などの段差の側壁や底に、平坦部と比べてどれだけ膜が付くかを、例えば「底の膜厚 ÷ 上面の膜厚」の百分率で表します。
成膜におけるステップカバレッジ(段差被覆性)の説明として正しいものはどれか。
「ステップカバレッジ」が出てくる問題(1問)
関連する用語
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