薄膜沉積（CVD與PVD）
CVD中使階梯覆蓋率（保形性）變好的條件，下列何者正確？
- A成為表面反應限速的條件（較低溫、低壓等）
- B成為原料氣體供應限速的條件
- C將原料氣體由單一方向高速噴吹的條件
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正確答案：A. 成為表面反應限速的條件（較低溫、低壓等）
在表面反應限速的條件下，原料氣體會先充分到達溝槽深處，再於表面緩慢反應，因此各處成膜速率的差異小，階梯的側壁與底部也能均勻成膜。降低溫度會使反應變慢，降低壓力會使氣體擴散變快，因而接近此條件。反之，在供應限速的條件下，氣體越容易到達的開口部膜越厚，入口容易被封住。