ステップカバレッジ란?
すてっぷかばれっじ
段差や穴の側面・底面に、平らな部分と比べてどれだけ均一な厚さで膜がつくかを表す指標。ALDは非常によい。
일본어 명칭: ステップカバレッジ
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
관련 용어
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD)
すてっぷかばれっじ
段差や穴の側面・底面に、平らな部分と比べてどれだけ均一な厚さで膜がつくかを表す指標。ALDは非常によい。
일본어 명칭: ステップカバレッジ
분야: 박막 증착(CVD와 PVD)
領域選択成膜 反応性スパッタリング 電解めっき 真空蒸着 静電チャック ALD CVD HDP-CVD(高密度プラズマCVD) LPCVD(減圧CVD) PECVD(プラズマCVD)