什麼是電遷移

導線中的金屬原子因電流而移動的現象。會產生空洞與小丘,造成斷線或短路。

日文名稱: エレクトロマイグレーション

「電遷移」出現在1領域的1道練習題中(先進電晶體(FinFET與GAA)等)。

這個名詞所屬的領域: 可靠度

練習電遷移的題目

FinFET 或 SOI 電晶體容易發生自發熱問題,其原因為何?

  1. A因為電晶體過冷
  2. B因為完全沒有電流流過
  3. C因為通道為細小結構且被絕緣膜包圍,產生的熱不易逸散到基板
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正確答案:C. 因為通道為細小結構且被絕緣膜包圍,產生的熱不易逸散到基板

在像鰭片這樣的細小結構,或被熱導率低的氧化膜(SiO2 約為 Si 的 1/100)包圍的結構中,電晶體產生的熱不易逸散到基板,通道溫度有時會比周圍高出數十 ℃。溫度上升會使遷移率下降、電流減少,也會加速附近配線的電遷移與元件的劣化,因此在可靠度評估與電路設計中必須加以考慮。

解析中的「電遷移」

出現「電遷移」的題目(1題)

  1. FinFET 或 SOI 電晶體容易發生自發熱問題,其原因為何?

相關名詞

FinFET(鰭式場效電晶體) 遷移率 阿瑞尼斯模型 閂鎖效應 韋伯分布 浴缸曲線 軟錯誤 熱載子注入(HCI) ESD(靜電放電) FIT(失效率單位)

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