導線寬度比晶粒更細，晶粒邊界橫跨導線排列的結構稱為什麼？它對電遷移有何影響？

正確答案：C. 竹節（bamboo）結構，沿導線方向的晶界擴散路徑減少，抗性提高

導線寬度比晶粒大小更細時，晶界會像竹節一樣橫跨導線排列（竹節結構）。原子容易快速移動的沿導線方向的晶界路徑消失，因此晶界擴散造成的電遷移受到抑制，在鋁導線中壽命大幅延長。不過Cu導線的主要路徑是上表面界面的擴散，僅靠竹節結構並不足夠，覆蓋層的改良才是重點。

• A. 多孔質結構是Low-k膜等的結構。
• B. 導線的金屬是結晶。
• C. 正確。晶界的擴散路徑減少，抗性提高。