可靠度 當電遷移使配線產生凸起(hillock)時,可能發生的故障是下列何者? A只有斷線 B與相鄰配線短路 C臨界電壓上升 查看答案與解析 正確答案:B. 與相鄰配線短路 在電遷移中,電子流上游側的原子離開而形成空孔,成為斷線的原因;下游側則有原子堆積而形成凸起,可能頂破絕緣膜而接觸到相鄰或上下的配線,造成短路。故障並不只有斷線。臨界電壓上升是電晶體劣化(BTI等)所造成的,並不是配線的現象。