可靠度

當電遷移使配線產生凸起(hillock)時,可能發生的故障是下列何者?

  1. A只有斷線
  2. B與相鄰配線短路
  3. C臨界電壓上升
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正確答案:B. 與相鄰配線短路

在電遷移中,電子流上游側的原子離開而形成空孔,成為斷線的原因;下游側則有原子堆積而形成凸起,可能頂破絕緣膜而接觸到相鄰或上下的配線,造成短路。故障並不只有斷線。臨界電壓上升是電晶體劣化(BTI等)所造成的,並不是配線的現象。

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