配線製程

在電遷移試驗中,已知短於某個長度的導線壽命會大幅延長(劣化幾乎不進行)。這個現象的名稱為下列何者?

  1. ABlech效應(短導線效應)
  2. B密勒效應
  3. C厄利效應
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正確答案:A. Blech效應(短導線效應)

電遷移使原子往單一方向搬運時,導線端部會產生應力梯度,進而產生反方向的原子流(回流,backflow)。導線短時,這股逆流會與電流造成的流動達到平衡,劣化幾乎不再進行。電流密度 × 長度(jL積)在臨界值(Cu約為數千A/cm)以下就不會故障,這種Blech效應被用來放寬短導線的電流密度規則。

  • A. 正確。這是在短導線中劣化受到抑制的效應。
  • B. 密勒效應是回授電容看起來被放大為增益倍的效應。
  • C. 厄利效應是關於電晶體輸出特性斜率的效應。
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