配線製程
鋁導線中添加約0.5%的銅而成的Al-Cu合金一直被使用,主要原因為下列何者?
- A為了提高抗電遷移的能力
- B為了大幅降低電阻率
- C為了改變導線的顏色
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正確答案:A. 為了提高抗電遷移的能力
純鋁導線容易因電流造成的原子移動(電遷移)而產生空洞與小丘,在1960年代後半是IC的主要故障原因。添加約0.5~4%的銅後,銅會偏析在晶界,抑制鋁原子在晶界的移動,使壽命延長一個數量級以上。電阻率雖略微上升,但可靠度的提升很大,因此成為Cu導線出現之前的標準。
- A. 正確。提高抗電遷移的能力。
- B. 添加少量銅後,電阻率反而略微上升。
- C. 並非為了改變顏色。