配線製程

電遷移導致空洞容易發生的位置,下列何者正確?

  1. A導孔與導線的交界等,金屬原子流動不連續的位置
  2. B沒有電流流過的導線中央
  3. C晶片外的封裝基板
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正確答案:A. 導孔與導線的交界等,金屬原子流動不連續的位置

在電遷移中,原子被電子流推動而移動(電子風力)。在導孔與導線的交界、導孔下方的阻障層等原子流中斷的位置,上游側的原子離開卻無法得到補充,因而形成空洞,下游側則因原子堆積而形成小丘(hillock,隆起)。設計上會採取設置冗餘導孔、加寬導孔周圍的導線、考慮電流方向等對策。

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